SS21S8 (SiH₄)

전기화학식 실란 센서 (0~20ppm)

DESCRIPTION

SS21S8은 실란(SiH₄)을 0~20 ppm 범위에서 고감도로 감지할 수 있는 전기화학식 센서입니다. 300 ± 150 nA/ppm의 출력과 50초 미만의 반응 속도를 제공하며, 0.1 ppm 이하의 해상도와 ±5% 이내의 반복성을 보장합니다. H₂, NO₂, PH₃, CO 등 다양한 타가스에 대한 낮은 교차 감도를 갖추고 있어 복잡한 환경에서도 정확성을 유지합니다. 공기 중 기준 24개월 이상의 수명과 -20℃ ~ +50℃의 작동 온도로 반도체 산업의 고정형 안전 시스템에 최적입니다.

주요 특징

- 측정 범위: 0~20 ppm (최대 허용: 40 ppm)
- 출력 신호: 300 ± 150 nA / ppm
- 반응 속도: T90 < 50초
- 해상도: <0.1 ppm (전형값)
- 반복성: 신호의 ±5% 이내
- 장기 드리프트: 연간 <5%
- 작동 온도: -20℃ ~ +50℃
- 수명: 공기 중 기준 24개월 이상
- 낮은 교차 감도: CO, H₂, NO₂, PH₃ 등

Performance Characteristics
Output Signal	300±150 nA / ppm
Typical Baseline Range (pure air, @ 20°C)	≤ ±0.5 ppm HCl equivalent
Response Time (T90)	< 50 seconds
Filter	None
Measurement Range	0–20 ppm
Maximum Overload	40 ppm
Linearity	Linear
Repeatability	< ±5% of signal
Recommended Load Resistor	10 ohms
Resolution (Electronics Dependent)	< 0.1 ppm typical
Bias Voltage	0 mV
Environmental
Temperature Range Continuous	-20°C to +50°C
Pressure Range	800 to 1200 mbar
Operating Humidity Range	15% to 90% RH
Lifetime
Long Term Output Drift	< 5% per annum
Recommended Storage Temp	0°C to 20°C
Expected Operating Life	> 24 months in air
Standard Warranty	24 months from date of dispatch
Intrinsic Safety Data
Maximum at 40 ppm	10 μA
Maximum o/c Voltage	< 1.0 V
Maximum s/c Current	< 0.1 A

Performance Characteristics

Output Signal

300±150 nA / ppm

Typical Baseline Range (pure air, @ 20°C)

≤ ±0.5 ppm HCl equivalent

Response Time (T90)

< 50 seconds

Filter

None

Measurement Range

0–20 ppm

Maximum Overload

40 ppm

Linearity

Linear

Repeatability

< ±5% of signal

Recommended Load Resistor

10 ohms

Resolution (Electronics Dependent)

< 0.1 ppm typical

Bias Voltage

0 mV

Environmental

Temperature Range Continuous

-20°C to +50°C

Pressure Range

800 to 1200 mbar

Operating Humidity Range

15% to 90% RH

Lifetime

Long Term Output Drift

< 5% per annum

Recommended Storage Temp

0°C to 20°C

Expected Operating Life

> 24 months in air

Standard Warranty

24 months from date of dispatch

Intrinsic Safety Data

Maximum at 40 ppm

10 μA

Maximum o/c Voltage

< 1.0 V

Maximum s/c Current

< 0.1 A

PRODUCTS

Product

SS21S8 (SiH₄)

SS21S8 (SiH₄)

전기화학식 실란 센서 (0~20ppm)

DESCRIPTION

주요 특징

제품 스펙

센서 스펙

액세서리

다운로드